연합뉴스 본문 바로가기 메뉴 바로가기

연합뉴스 최신기사
뉴스 검색어 입력 양식

기계연, 반도체 기판 이송 장비용 라이다 센서 국산화

송고시간2021-08-17 09:52

beta

한국기계연구원은 라이다 센서 전문기업 에스오에스랩과 함께 반도체 웨이퍼(기판) 이송 장비에 탑재하는 라이다 센서를 국산화하는 데 성공했다고 17일 밝혔다.

반도체 생산 라인에서 웨이퍼를 실어 나르는 자율주행 시스템(OHT) 1대당 들어가는 2∼4개의 라이다 센서는 전량 독일과 일본 등에서 수입되고 있다.

제품 조립 후 수작업으로 이뤄지던 보정·성능평가 단계를 자동화해 라이다 센서 대량 생산을 위한 기술을 확보했다.

요약 정보 인공지능이 자동으로 줄인 '세 줄 요약' 기술을 사용합니다. 전체 내용을 이해하기 위해서는 기사 본문과 함께 읽어야 합니다. 제공 = 연합뉴스&줌인터넷®
반도체 웨이퍼 이송장비용 라이다 센서
반도체 웨이퍼 이송장비용 라이다 센서

[한국기계연구원 제공. 재판매 및 DB 금지]

(대전=연합뉴스) 박주영 기자 = 한국기계연구원은 라이다 센서 전문기업 에스오에스랩과 함께 반도체 웨이퍼(기판) 이송 장비에 탑재하는 라이다 센서를 국산화하는 데 성공했다고 17일 밝혔다.

라이다 센서는 1초당 수백만개의 레이저 빔을 쏜 뒤 되돌아오는 시간을 측정해 주변 물체와의 거리를 감지하는데, 자율주행기술의 핵심 부품이다.

반도체 생산 라인에서 웨이퍼를 실어 나르는 자율주행 시스템(OHT) 1대당 들어가는 2∼4개의 라이다 센서는 전량 독일과 일본 등에서 수입되고 있다.

반도체 웨이퍼 이송장비(OHT)
반도체 웨이퍼 이송장비(OHT)

[한국기계연구원 제공. 재판매 및 DB 금지]

연구팀은 양산성을 고려해 제품을 최적화하고, 광 정렬을 개선해 라이다 센서의 핵심 성능인 측정 분해능과 정확도를 높였다.

제품 조립 후 수작업으로 이뤄지던 보정·성능평가 단계를 자동화해 라이다 센서 대량 생산을 위한 기술을 확보했다.

하창완 기계연 선임연구원은 "이번 기술 개발로 연간 4천여개의 라이더 센서 수입을 대체하는 효과를 거둘 것"이라고 기대했다.

jyoung@yna.co.kr

댓글쓰기
에디터스 픽Editor's Picks

영상

뉴스
댓글 많은 뉴스