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테스, 탄소계 액체 전구체 특허권 취득

송고시간2018-12-26 16:36

(서울=연합뉴스) 임은진 기자 = 반도체 제조용 기계 제조업체 테스[095610]는 탄소계 액체 전구체에 대한 국내 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.

engine@yna.co.kr

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